微小漏電流難以捕捉？寬溫域半導體絕緣測試設備技術解析

在功率半導體器件及封裝絕緣材料研發(fā)、可靠性檢測環(huán)節(jié)，高低溫交變環(huán)境下絕緣電阻準確表征存在諸多技術難點：低漏電流信號易受工業(yè)電網諧波、電磁噪聲干擾，寬溫域溫度均勻性難以保障，瞬時擾動易產生無效異常數(shù)據(jù)，傳統(tǒng)設備量程、靈敏度無法滿足絕緣材料測試標準。

華測儀器 SIR-450 半導體高低溫絕緣電阻測試系統(tǒng)，是面向功率半導體、封裝樹脂、無機絕緣基材、復合絕緣膜等材料開發(fā)的變溫絕緣性能綜合檢測設備。系統(tǒng)采用集成架構，集成寬范圍準確溫控腔體與高阻微弱電流測量主機單元；硬件配置多級電磁抗干擾組件，可減少現(xiàn)場電磁干擾噪聲，設備電流測量分辨率可達 1fA，絕緣電阻測量上限 101?Ω，可穩(wěn)定采集材料在高低溫工況下的微量漏電流信號。

溫控系統(tǒng)采用全域均熱風道結構，工作溫度區(qū)間覆蓋 - 185℃～350℃，控溫精度≤±0.5℃；升溫速率支持 0～10℃/min 連續(xù)自定義設置，可復現(xiàn)多種標準及自定義溫度老化、溫變循環(huán)測試曲線。軟件內嵌自動平均值校正算法，能夠實時連續(xù)采樣，自動甄別并減少環(huán)境擾動引發(fā)的異常跳變數(shù)據(jù)，保障全溫度區(qū)間絕緣電阻測試數(shù)據(jù)的重復性、穩(wěn)定性與真實性，為絕緣材料配方開發(fā)、器件長期絕緣可靠性評估提供可靠、完整的測試數(shù)據(jù)支撐。