pA 級~100mA 寬量程多通道矩陣模塊在半導體電學表征中的應用

面對半導體、新材料行業單儀表通道數量少、多路測試布線繁瑣、設備投入成本高、微弱電流測試不穩等行業痛點，華測儀器 HC-PAX 多通道電流矩陣模塊憑借高密度模塊化架構，為科研實驗室與量產產線提供靈活可控、高準度、可規模化擴展的電流自動化測試新方案。

1.模塊化靈活擴容

產品采用高密度集成設計，單機箱集成可達128 通道，整機空間利用率大幅優化，減少機柜柜體占用空間，對比傳統單通道配線方案，顯著降低機柜采購、繁雜線纜布線與后期運維成本。通道以8 通道為選配單元，按需靈活加裝通道卡，支持多機箱級聯堆疊，系統可拓展至1024 通道，同時通道卡支持熱插拔，設備維護、通道增減無需整機停機斷電，不中斷整套測試系統運行。

2.毫秒級極速切換

硬件搭載矩陣開關電路，標準20ms單通道切換速度，實現毫秒級通路快速啟停與切換，適配動態負載切換、多路器件連續高速循環掃描等復雜工況，打破傳統開關矩陣切換滯后、測試節拍受限瓶頸，優化整線測試吞吐效率，縮短批量元器件 I-V 特性掃描周期。

3.寬量程全覆蓋

電流量程全域覆蓋±1pA~±100mA，依托低漏電流、低熱電動勢線路設計，減少線路熱電干擾與串擾噪聲，pA 級微弱漏電測量數據穩定可靠、重復性優異，一套設備可兼顧高阻絕緣材料微漏測試、常規元器件工作電流檢測等，實現從微弱微電流到常規器件測試，無需搭配多臺不同量程測試儀表。

4.強兼容易集成

硬件接口標準化適配市面主流靜電計、高精度數字源表、皮安表等測試儀器，無需改造原有主控儀表，僅通過 HC-PAX 即可將單臺測量儀表升級為多通道級自動化測試平臺，軟件層面支持恒流輸出、脈沖激勵、分段程控掃描多工作模式可切換，內置多通道單獨時序編程功能，可自定義多路器件分時、同步測試邏輯，快速搭建自動化程控測試方案。

普遍適配高阻材料與元件測試、半導體器件特性分析、傳感器測試與標定、電池與儲能測試、靜電與ESD研究、光電與光伏器件測試、環境監測與科學儀器、多器件并行參數測試等領域。